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特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
2XZ型旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片，将定子分隔成两个工作腔(高、低级工作腔)，旋转时，2XZ型旋片真空泵靠离心力和弹簧的张力使旋片与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动，使得工作腔容积周期性扩大而吸气，低级工作腔容积周期性缩小而压缩气体，借助气体和油的压力推开排气阀排气，从而获得真空。当吸入压力较高时(例如从大气压开始吸气)，气体在腔被压缩，压力急增，则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀排出，另一部分气体经压缩后通过中壁内的级间通道进入低级腔，再次压缩后从低级排气阀排出，此时高低级腔同时排气;当吸入压强较低时(例如泵工作一段时间之后)，气体由吸气口进入腔，气体在腔内压缩所产生的压力不足以推开辅助排气阀而直接通过级间通道进入低级工作腔，再次压缩后从低级排气阀排出,
