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Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，
同时程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
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EM系列泵是结实的机械油封泵,抽速为0.7-275m3/h(30-206CMF),这些泵结果紧凑,使用时非常安静,
具备的润滑回路,可靠性高,配有各种附件,可以麻烦在特定的应用需求. Edwards E2M40
系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。
这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供的保护。
提供各种附件，因此可用于广泛的真空应用。这种泵能胜任大多数工作，并且可在其正常运行参数范围内，
安全地处理非易燃气体和蒸汽。应用真空冶金加工薄膜覆层技术制冷冻干燥冷冻和空调系统抽空、
干燥和回填变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂灯具制造低温容器抽空化工行业中的真空干燥和蒸馏半导体设备制造
用于高真空应用的前级泵。
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