产品别名 |
爱德华GV80真空泵,Drystar GV80,GV80干式真空泵,爱德华真空泵 |
面向地区 |
品牌 |
其它 |
|
用途 |
其它 |
泵轴位置 |
卧式 |
材质 |
铸铁 |
加工定制 |
是 |
驱动方式 |
电动 |
输送介质 |
油泵 |
性能 |
无泄露 |
叶轮吸入方式 |
螺杆真空泵 |
真空度 |
高真空度 |
类型 |
真空泵 |
EDWARDS爱德华Drystar GV80干式真空泵
GV80真空泵能够连续运行,并能够处理大量可冷凝蒸汽。凭借清洁、安静的真空抽送能力和较少的服务中断时间,GV80 可提供稳定的输出和可重复的真空性能。
EDWARDS GV Drystar泵能够处理大是粉尘和水蒸汽,在保持高可重复性、和高可靠性的同时
不会带来制程污染的风险。Drystar真空泵可以与Edwards EH系列机械增压泵结合以提高泵送性能。
功能和优势:
可靠的韧性铁构造。
具有重复泵送能力。
能够控制泵温。
的灰尘和蒸汽处理能力。
具有一劳永逸的性能。
使用现有过滤器可以很好的处理灰尘。
降低了噪音和振动。
排放的烟雾中不含油。
无需进行油回收,排放区域环境清洁。
延长了正常动行时间。
节省维护成本。
可连续在大气压下泵送,对泵无有害影响。
高度可靠的干燥机械装置,已经过60000多套产品实验证明。
半导体行业真空应用工艺介绍
半导体行业中的蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,机械手,自动化真空清扫等 所需用真空为生产真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送。
东莞比其尔供应Drystar GV80 爱德华GV80真空泵 GV80干式真空泵 GV80干式真空泵
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