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真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
2XZ型旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片,将定子分隔成两个工作腔(高、低级工作腔),旋转时,2XZ型旋片真空泵靠离心力和弹簧的张力使旋片与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动,使得工作腔容积周期性扩大而吸气,低级工作腔容积周期性缩小而压缩气体,借助气体和油的压力推开排气阀排气,从而获得真空。当吸入压力较高时(例如从大气压开始吸气),气体在腔被压缩,压力急增,则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀排出,另一部分气体经压缩后通过中壁内的级间通道进入低级腔,再次压缩后从低级排气阀排出,此时高低级腔同时排气;当吸入压强较低时(例如泵工作一段时间之后),气体由吸气口进入腔,气体在腔内压缩所产生的压力不足以推开辅助排气阀而直接通过级间通道进入低级工作腔,再次压缩后从低级排气阀排出,